成膜や表面改質などを行うときは条件が一定な真空環境下が理想です。真空というと酸素や水が全くない環境と思われがちですが実際はチャンバー内の圧力が減圧下になってくるとワーク材料やチャンバー部材から水分や素材成分がアウトガスさ […]

真空チャンバー内に紫外線を照射したいと思ったら紫外線光源を真空チャンバーの中に設置するか、もしくは真空チャンバーの外から紫外線光が透る石英ガラス窓を透してチャンバー内に照射する2つの方法があります。弊社はコンタミや成膜デ […]

表面改質を目的として真空チャンバー内にエキシマUV光源による波長172nmのUVを照射して実験していたところ、ある日、静電気による基板の吸着問題が無くなることに気が付きました。静電気が無くなる原因を調べてみると光電効果が […]

エキシマUVランプは管内に封じる希ガスの種類で出てくる波長が異なります。例えばキセノンXeを封じると波長172nm、キセノン塩素XeClを封じると波長308nmを発します。波長308nmのエキシマUVランプは近年、世界的 […]

わたしたちの生活の中で紫外線というとシミ、ソバカス、皮膚がんなどあまり良いイメージはありませんが産業分野では多くの恩恵を与えてくれる光です。具体的には紫外線で油などを分解する洗浄用途、ダイオキシンやトリクロロエチレンなど […]

親和性や濡れ性、清浄度の向上などに用いられるドライ表面処理方法は光による化学反応のUV光処理法とプラズマによる物理的に表面を削るプラズマ法があります。両者は一長一短がありますがユーティリティについて紹介いたします。プラズ […]

親和性や濡れ性、清浄度の向上などに用いられるプラズマ表面処理とUV表面処理は目的は同じなのですが処理結果に明確な違いがあります。プラズマ表面処理はプラズマ化した分子がサンプル表面を叩く物理的なプロセスです。プラズマ処理後 […]

UV洗浄改質は光のエネルギーに基づく光化学プロセスです。プロセスの要因として幾つかのパラメーターがありますが基本は照度(mW/cm2) x 時間(sec)に基づく総エネルギー(mJ/cm2)です。つまり強い照度で短い時間 […]

UV洗浄改質光処理に使われる紫外線ランプは点灯させると温度は上昇します。UV洗浄改質で従来より使用される波長185,254nmのオゾンを発生させる「低圧水銀ランプ」は名前の通りランプ管内に封入された少量の水銀を熱で蒸気さ […]

炭素を含む分子の結合からなる有機物は自分の結合ｴﾈﾙｷﾞ-よりも大きな力を受けると分解されます。弊社の波長172nmを発するXeエキシマUVランプは166kcal/molの光エネルギーを持っています。これは炭素の2重結合 […]