真空中の静電気をエキシマ光除電

表面改質を目的として真空チャンバー内にエキシマUV光源による波長172nmのUVを照射して実験していたところ、ある日、静電気による基板の吸着問題が無くなることに気が付きました。静電気が無くなる原因を調べてみると光電効果が起きているようです。光電効果とは物質中の電子に紫外線より短い波長の光を当てると光のエネルギーにより電子が飛び出し、また、気体の原子や分子がイオン化するため帯電した物質表面の電荷がイオンによって中和される現象を光電効果といいます。私たちはこの現象を帯電プレートモニターを真空チャンバー内に設置し驚異の除電性能を確認しました。その時の動画を弊社 Youtubeチャンネルに 紹介します。こうしてExcimer VUV Ionizerは誕生しました。ほとんど世の中に知られていないので皆様のお役に立ちましたら光栄です。