オゾン分解装置

Model OZFDT Ozone decomposition unit

  • 精密オゾン分解ユニット　Model OZFDT 排気ファン内蔵　出口オゾン濃度0.1ppm以下　
Model OZFDT Ozone decomposition unit
Model OZFDT

特徴

  • 卓上型UV照射装置、プラズマ装置等のオゾン排気ガスを分解します。
  • 局所排気設備が無い環境でもオゾンを無害化します。
  • 非金属系触媒による高濃度オゾンガス分解
  • 排気オゾンガス濃度0.1ｐｐｍ以下
  • 長寿命設計　触媒寿命　推奨交換期間　1年
  • 詳細お問い合わせください。

殺菌や脱臭、洗浄、改質などでオゾンを利用した際にオゾンガスの排気には困ります。そのまま排気すればダクトやファンなどが腐食し危険です。屋外へ排気すれば拡散はしますが排気口付近は高濃度のオゾンガスなので安全ではありません。工場ではドラフターやスクラバーなどで酸排気処理いたしますが工場以外ではオゾンフィルター等で除外する方法が一般的です。
従来のオゾンフィルター分解器は高濃度のオゾンガスを短時間で処理するにはコストも場所も要する大きな容量が必要でした。小型のオゾン利用装置でオゾンフィルターを使用するには装置内にオゾンフィルター配置してオゾンガスが薄まるまで循環させる方式が一般的です。

弊社は半導体製造装置などで培われた豊富な技術と経験から小型サイズのオゾンフィルターながら高性能な為、装置内のオゾンガスを循環させることなくワンパスで排気処理可能な排気オゾンガス濃度0.1ppm以下にする排気ファン内蔵オゾン分解ユニットを実現し販売いたしております。 この方式のメリットは循環処理が不要な為、装置全体のプロセス時間が短時間となります。また、オゾン分解フィルターが装置の外なのでオゾンフィルターに使われる活性炭や重金属触媒などの成分による装置内の再汚染の可能性が構造的にありません。ワンパス方式のオゾン除害ユニットは超クリーンな設計コンセプトです

仕様

ModelOZFDT
対象機器172DT
電源AC100V 50/60Hz
出口オゾン濃度
0.1ｐｐｍ以下※1　（弊社工場測定条件）
ダクト接続径ODφ51.5mm
外形寸法220W　x 250H x 220D mm

設置例

エキシマUV洗浄改質装置からダイレクトでオゾン分解装置を通して室内排気しています。ただし設置環境は換気可能な室内の場合のみ。クリーンルーム等、換気が難しい空間では必ず室外排気してください。オゾン触媒の交換寿命期間の実績は毎日稼働で約3年間です。

オゾン分解ユニット

Model OZFIL Ozone decomposition In-Line unit

  • インラインオゾンフィルター　　　　出口オゾン濃度　カスタム仕様　　　　　
特徴
  • 排気ダクト配管の途中でオゾン排気ガスを分解します。
  • 局所排気設備が無い環境でもオゾンを無害化します。
  • 非金属系触媒による高濃度オゾンガス分解
  • 排気風量調整ダンパー　カスタム対応
  • 上流装置との運転、信号、外部制御接続　カスタム対応
  • オゾン分解フィルター目詰まり検知センサー　カスタム対応
  • 作業環境オゾン漏洩検知センサー　カスタム対応
  • 稼働時間　安全管理タイマー　カスタム対応
  • 局所オゾン排気ファン搭載　カスタム対応
  • 長寿命設計　触媒寿命　推奨交換期間　1年
  • 詳細お問い合わせください。

■オゾン排気 中風量　インラインオゾンフィルター　出口オゾン濃度　カスタム仕様

Model OZFIL 20　　オプションφ100仕様

中オゾン排気風量　インラインオゾンフィルター

仕様
ModelOZFIL 20OZFIL 60OZFIL　M
処理風量20 L/min60 L/minカスタム仕様対応
出口オゾン濃度0.1 ppm以下0.1 ppm以下カスタム仕様対応
ダクト接続径ODφ51.5mmODφ51.5mmODφ51.5mm
外形寸法 mmW 200 x H 260 x D290W 200 x H 260 x D 500カスタム仕様対応

■卓上オゾン排気ドラフト　局所排気　中風量タイプ　

　出口オゾン濃度　カスタム仕様

　卓上ドラフト内にUV/O3装置やプラズマ装置を設置することで、オゾンガスを局所排気、脱臭、分解、排気します。

　装置のサイズや排気オゾン濃度や必要排気風量に応じたカスタム仕様、受注製作品。詳細お問い合わせください。

Model OZDRM

卓上オゾン排気ドラフト　局所排気　中風量タイプ

■オゾン排気　大風量　インラインオゾン分解装置　出口オゾン濃度　カスタム仕様

大風量オゾン分解機
Model OZFILL

大オゾン排気風量　インラインオゾン分解装置

仕様
ModelOZFIL　L
処理風量カスタム仕様対応
電源AC100V 50/60HZ
出口オゾン濃度カスタム仕様対応
ダクト接続径カスタム仕様対応
外形寸法W 275 x H 760 x D400 mm

■卓上オゾン排気ドラフト　中排気風量タイプ　　出口オゾン濃度　カスタム仕様

　卓上ドラフト内にUV/O3装置やプラズマ装置を設置することで、オゾンガスを局所排気、脱臭、分解、排気します。

装置のサイズや排気オゾン濃度や必要排気風量に応じたカスタム仕様、受注製作品。詳細お問い合わせください。

卓上型オゾンドラフトda大風量
Model OZDRL

卓上オゾン排気ドラフト　局所排気　大風量タイプ Model OZDRL