エキシマUVランプと照度

エキシマ積算光量

UV洗浄改質は光のエネルギーに基づく光化学プロセスです。プロセスの要因として幾つかのパラメーターがありますが基本は照度(mW/cm2) x 時間(sec)に基づく総エネルギー(mJ/cm2)です。つまり強い照度で短い時間のプロセスと弱い照度で長い時間のプロセスは同じエネルギー量になります。従って、早いスループットが要求される工場などでは強い照度のエキシマUVランプが求められます。照度が高いエキシマUVランプはランプ寿命が短くなることからランプ交換の費用がかさみます。また、照度を出すために電力も消費しそれに伴う熱も出るのでランプシステムは水冷構造が必要となり装置構造の複雑化かつコストもスペースも増大します。


したがって全ての用途で高照度のエキシマランプを必要とする理由はないのです。 株式会社エキシマの装置はランプ照度を抑えながら豊富な経験に基づく最適なシステム条件の確立により高性能なプロセスを実現しています。


従来からのメーカー主導のビジネスモデルを脱しユーザーの立場に立ったランニングコストと性能を追求した画期的な製品を提供しています。