エキシマUV光処理の原理

紫外線の波長は短いほど強い光のエネルギー(Photon)を持っています。一方、物質を作っている分子は強いエネルギーを与えられると分子の結合は切断されます。つまり紫外線の光エネルギーが分子の結合エネルギーよりも強いと分子結合は切られるのです。
切られた分子は不安定な状態なので何かにつながろうとします。この状態が反応性の良い「濡れ性の良い」状態です。油など炭素をもつ有機化合物へ光エネルギーの強い紫外線をあてると炭素の結合が切れます、プロセス環境の雰囲気にオゾンや活性酸素などがあるとCとOが結びついてCO2としてガス化して有機物は分解されます。これがUVO3光洗浄・改質の原理です。水や薬品を使わない光だけのドライ処理、なおかつ温度が上がらないのが特徴です 。