エキシマUVのオゾン発生量

波長172nmのエキシマUVランプからの紫外線は大気中で点灯するとランプの近くで1200ppmという高濃度なオゾンガスが発生します。日本産業衛生学会では作業環境基準の安全なオゾン濃度は0.1ppm以下ですので装置内とはいえ、かなり高濃度なオゾンガスが発生させていることは確かです。ちなみに従来から使われている一般的な紫外線ランプ（低圧水銀UVランプ）のオゾン発生量はエキシマUVランプの1/10の約100ppm程度です。エキシマUVランプの特長は、ランプに使われている合成石英ガラスの表面から出る紫外線だけでオゾンを発生しているので高電圧を電極にかけて放電させる方法と違い異物や汚染のないクリーンなオゾンガスであることです。

オゾンガスは不安定な性質なので温度や時間や拡散に伴い減少する自然界に存在するガスです。適切な設備と取り扱いで工業、医療、食品、畜産などの分野で殺菌や脱臭、洗浄などの用途で広く安全に使用されているものです。