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真空チャンバー用エキシマ光源

エキシマ真空照射光源フランジ接続

真空チャンバー内に紫外線を照射したいと思ったら紫外線光源を真空チャンバーの中に設置するか、もしくは真空チャンバーの外から紫外線光が透る石英ガラス窓を透してチャンバー内に照射する2つの方法があります。弊社はコンタミや成膜デポによる光源の照度低下対策に優れ、コンパクトかつメンテナンスやコスト性に優れる紫外線が透るガラス窓を介して照射する方式を採用しています。この方式は既存の真空チャンバーに一般的なICFやJIS規格フランジで接続可能です。

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