エキシマとは

ｴｷｼﾏとはXeなどの希ガスに外部から高いエネルギー電子を与えると希ガス原子が励起されエキシマ励起分子になり、この励起状態になった分子の状態をExcited Dimerと呼びます。英語の“excited”と“dimers”の用語に由来する物理科学用語としてエキシマレーザーやエキシマランプの語源となっています。エキシマランプは産業的には以前よりヨーロッパの印刷業界で使われてきました。日本では1990年代に半導体や液晶などの電子部品製造分野で広く普及した製品です。弊社は1990年代初頭よりこの技術に携わり2007年にエキシマUV表面処理および評価用接触角計の専門メーカーとして今日に至っております。