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エキシマUV

UV法とプラズマ法の違い ユーティリティ編

Excimer UV 172nm

親和性や濡れ性、清浄度の向上などに用いられるドライ表面処理方法は光による化学反応のUV光処理法とプラズマによる物理的に表面を削るプラズマ法があります。両者は一長一短がありますがユーティリティについて紹介いたします。プラズマ法と一概に言っても真空プラズマや大気圧プラズマ、低温プラズマなどいろいろありますが紫外線法と決定的に違うのはAir, O2, N2, Ar, 高価なHeなどのプラズマプロセスにガスの供給、排気が必要な点です。UV光処理法は処理ガス供給が不要なので装置はシンプルかつコンパクトになりイニシャルとランニングコストで貢献します。

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