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エキシマUV

UV法とプラズマ法の違い プロセス編

エキシマUV光処理のプロセス原理

親和性や濡れ性、清浄度の向上などに用いられるプラズマ表面処理とUV表面処理は目的は同じなのですが処理結果に明確な違いがあります。プラズマ表面処理はプラズマ化した分子がサンプル表面を叩く物理的なプロセスです。プラズマ処理後は軽石の表面のような粗面になります。表面を一皮むくイメージなので有機物はもとより無機物も削れます。それに対してUV表面処理は光による化学反応のみなので無機物は取れませんが サンプルへのダメージを与えることがありません。波長が短いUVは表面からの反応なので氷が溶けるようになめらかに反応していきます。プラズマ処理とUV処理は親和性向上として同じような結果になりますが実際は大きな違いがあります。

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