Longlife Compact Excimer VUV 172nm light source for 6”wafer & mask

Air cooling compact excimer lamp unit. light length 160mm. This unit is designed for Irradiation of VUV 172 wavelength. It is low-cost and high performance a feature according to a simple system structure. The excimer UV lamp can precision process the low temperature.

コンパクトエキシマUV172nm光源 Model E500-172-160

6”ウェハ&マスク基板対応ランプです。特長はシンプルかつコンパクトな構成、信頼性の高い空冷式、ランプ管交換不要長寿命エキシマランプ。※1 電源はAC100V。

特長  長寿命空冷エキシマランプ。ランプ管交換不要

    本来、エキシマUVランプはバルブ内に電極を有さない構造なので理論上では長寿命ランプとされ、海外ではpermanent Excimer lampと表記されている場合もあります。しかしながら昨今の高照度を追求するエキシマランプは管材の軽薄化、菅温度の上昇、紫外エネルギーに伴うガラスのひずみ等に伴いランプ寿命はコスト高となる短寿命化の傾向があります。

※1  長年の現場での経験と実績に基づき株式会社エキシマの空冷コンパクトエキシマランプはメンテナンスとして外部電極と高圧ケーブルや高圧部品の定期交換は必要ですが高価なランプ管本体は交換不要です。低コスト高信頼性を実現いたしました。


  • Air cooling style. Easy installation.
  • Lamp light length 160 mm
  • Power AC100V 50/60Hz
  • Instantaneous ON/OFF light feature.
  • Best for the research and development.


  • Surface wettability and modification
  • Photochemical
  • Reactive OH radical process
  • Resist removal
  • UV O3 process


Wavelength172 nm 
Light length160 mm(Lamp house type) 
FunctionInstantly lamp On / Off
Lamp house size (Lamp house type)W200 x H45 x D80 mm
Power supply size (Lamp house type)W250 x H140 x D200 mm
PowerAC100V 60Hz 1A
OptinsOzon filter、 Process gas supply unit

※Due to the compact air-cooled design, the continuous lamp lighting time is within 10 minutes.