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[en]オゾン

エキシマオゾン排気分解ユニット

[en]高性能オゾン分解排気ユニット 

殺菌や脱臭、洗浄、改質などでオゾンを利用した際にオゾンガスの排気には困ります。そのまま排気すればダクトやファンなどが腐食し危険です。屋外へ排気すれば拡散はしますが排気口付近は高濃度のオゾンガスなので安全ではありません。工場ではドラフターやスクラバーなどで酸排気処理いたしますが工場以外ではオゾンフィルター等で除外する方法が一般的です。従来のオゾンフィルター分解器は高濃度のオゾンガスを短時間で処理するにはコストも場所も要する大きな容量が必要でした。小型のオゾン利用装置でオゾンフィルターを使用するには装置内にオゾンフィルター配置してオゾンガスが薄まるまで循環させる方式が一般的です。弊社は半導体製造装置などで培われた豊富な技術と経験から小型サイズのオゾンフィルターながら高性能な為、装置内のオゾンガスを循環させることなくワンパスで排気処理可能な排気オゾンガス濃度0.1ppm以下にする排気ファン内蔵オゾン分解ユニットを実現し販売いたしております。この方式のメリットは循環処理が不要な為、装置全体のプロセス時間が短時間となります。また、オゾン分解フィルターが装置の外なのでオゾンフィルターに使われる活性炭や重金属触媒などの成分による装置内の再汚染の可能性が構造的にありません。ワンパス方式のオゾン除害ユニットは超クリーンな設計コンセプトです。なかなか世の中にはない製品なのでどこかでお役に立てれば光栄です。オゾンフィルター選定の際は弊社の製品は明記していますが排気オゾン濃度、フィルター寿命を明記していない製品が多いので注意が必要です。

[en]オゾン

Excimer UV 172nm

[en]エキシマUVのオゾン発生量

波長172nmのエキシマUVランプからの紫外線は大気中で点灯するとランプの近くで1200ppmという高濃度なオゾンガスが発生します。日本産業衛生学会では作業環境基準の安全なオゾン濃度は0.1ppm以下ですので装置内とはいえ、かなり高濃度なオゾンガスが発生させていることは確かです。ちなみに従来から使われている一般的な紫外線ランプ(低圧水銀UVランプ)のオゾン発生量はエキシマUVランプの1/10の約100ppm程度です。エキシマUVランプの特長は、ランプに使われている合成石英ガラスの表面から出る紫外線だけでオゾンを発生しているので高電圧を電極にかけて放電させる方法と違い異物や汚染のないクリーンなオゾンガスであることです。オゾンガスは不安定な性質なので温度や時間や拡散に伴い減少する自然界に存在するガスです。適切な設備と取り扱いで工業、医療、食品、畜産などの分野で殺菌や脱臭、洗浄などの用途で広く安全に使用されているものです。

Excimer UV system