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エキシマUV

エキシマ真空照射装置

エキシマUV真空装置

成膜や表面改質などを行うときは条件が一定な真空環境下が理想です。真空というと酸素や水が全くない環境と思われがちですが実際はチャンバー内の圧力が減圧下...

エキシマUV

エキシマ真空照射光源フランジ接続

真空チャンバー用エキシマ光源

真空チャンバー内に紫外線を照射したいと思ったら紫外線光源を真空チャンバーの中に設置するか、もしくは真空チャンバーの外から紫外線光が透る石英ガラス窓を...

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エキシマ308nm照度測定

308nmエキシマランプXeCl

エキシマUVランプは管内に封じる希ガスの種類で出てくる波長が異なります。例えばキセノンXeを封じると波長172nm、キセノン塩素XeClを封じると波...

エキシマUV

エキシマUVの波長 172nm

エキシマUVランプの用途

わたしたちの生活の中で紫外線というとシミ、ソバカス、皮膚がんなどあまり良いイメージはありませんが産業分野では多くの恩恵を与えてくれる光です。具体的に...

エキシマUV

エキシマ積算光量

エキシマUVランプと照度

UV洗浄改質は光のエネルギーに基づく光化学プロセスです。プロセスの要因として幾つかのパラメーターがありますが基本は照度(mW/cm2) x 時間(s...

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エキシマプロセス温度

エキシマ光処理の温度

UV洗浄改質光処理に使われる紫外線ランプは点灯させると温度は上昇します。UV洗浄改質で従来より使用される波長185,254nmのオゾンを発生させる「...

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水銀不使用

UVランプと水俣国際条約

我が国は2016年2月2日国際条約「水銀に関する水俣条約」の締結しました。この条約は、水銀及び水銀化合物の人為的排出から人の健康及び環境を保護するこ...

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