エキシマUV真空除電イオナイザー

Excimer Vacuum ionizer


特徴

  • 真空内大面積除電
  • ICF114フランジ接続
  • 波長172nm 水銀を使用しないUV
  • 空冷方式
  • 予熱不要。瞬時ON、OFFが可能

用途

真空チャンバー内の静電気除去

光源分離型 Model E900-172-ICF114
波長 172nm
真空フランジ接続ポート ICF114 
冷却方式 空冷
光源部サイズ W300 x H157 x D180 mm
別置電源サイズ W250 x H133 x D200 mm
重量 3kg
ガス N2
冷却方式 空冷
電源 AC100V 50/60Hz 2A
水銀レス Xe エキシマUVランプ
物質中の電子に紫外線より短い波長の光を当てると光のエネルギーにより電子が飛び出してくる、また、気体の原子や分子がイオン化するため帯電した電荷が中和される現象を光電効果といいます。私たちはこの現象を帯電プレートモニターを真空チャンバー内に設置し驚異の除電性能を確認しました。Youtube動画にて紹介します。
https://www.youtube.com/watch?v=iJhLNcBAw48

Application Tags:

VUVイオナイザ
VUV除電
エキシマイオナイザ
吸着
帯電
真空除電
静電気

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