エキシマ172洗浄改質装置 スタンドアローンタイプ

Excimer UVO3 system Standalone type


特徴  特徴

  • 大型基板 インライン処理が可能
  • 処理ガス制御機能
  • 安全インターロック機能搭載
  • オゾン排気処理ユニット(オプション)

 仕様

波長 172 nm
ランプ発光長 MIN 300 - MAX 1500 mm (各種選択)
機能 各種モニター、異常警報機能
電源 AC200V 50/60Hz 15A
本体寸法 W2400 x D500(2000) x H1350 mm
重量 150kg
排気 1m3/min, 50A
オプション オゾンフィルター、処理ガス供給システム

Application Tags:

172nm
Excimer uv
UV Lamp
UV洗浄
UV装置
エキシマランプ
エキシマ照射装置
ドライ洗浄
ポリイミド改質
密着性改善
濡れ性改善
紫外線
紫外線照射装置
表面改質

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