両面用エキシマ172洗浄改質装置

Excimer UVO3 system Double side type


特徴

  • ディスク基板、マスク基板に最適
  • 両面/片面 照射枚葉処理が可能
  • 処理ガス制御機能
  • 安全インターロック機能搭載
  • オゾン排気処理ユニット(オプション)

仕様

波長 172 nm
ランプ発光長 300 mm
カセット搭載数 1カセット
機能 各種モニター、異常警報機能
電源 AC200V 50/60Hz 15A
本体寸法 W400 x D500 x H350 mm
重量 40kg
排気 1m3/min, 50A
オプション オゾンフィルター、処理ガス供給システム

Application Tags:

172nm
Excimer uv
UV洗浄
エキシマランプ
エキシマ照射装置
ドライ洗浄
ポリイミド改質
両面処理
密着性改善
濡れ性改善
紫外線照射装置
表面改質

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