エキシマ172洗浄改質装置 大型ワークインラインタイプ

Excimer UVO3 system Inline type


特徴

  • 大型基板 インライン処理が可能
  • 処理ガス制御機能
  • 安全インターロック機能搭載
  • オゾン排気処理ユニット(オプション)

Application Tags:

172nm
Excimer uv
UV洗浄
エキシマランプ
エキシマ照射装置
ドライ洗浄
ポリイミド改質
密着性改善
濡れ性改善
紫外線照射装置
表面改質

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