エキシマ172洗浄改質装置 インライン卓上タイプ

Desktop Excimer UVO3 system


特徴

  • 卓上チャンバーでUV照射処理ができます。
  • 局所排気ブロワー、オゾンフィルター、XZステージ、ガスパージ レギュレーターにより実験装置に対応。
  • 要局所排気設備
  • 各種UV光源搭載
  • 外形寸法 W 1100 x H 600 x D 600 mm

Application Tags:

172nm
Excimer uv
UV洗浄
エキシマランプ
エキシマ照射装置
ドライ洗浄
ポリイミド改質
密着性改善
濡れ性改善
紫外線
紫外線照射装置
表面改質

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